磁控溅射物理气相沉积机（Metal）(二次招标)

项目名称: 磁控溅射物理气相沉积机（Metal）(二次招标)

招标公司: 厦门天马光电子有限公司

采购标的物: 磁控溅射物理气相沉积机

项目地区：福建 厦门

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招标公告

磁控溅射物理气相沉积机（Metal）(二次招标) 招标公告

1.招标条件

本招标项目 磁控溅射物理气相沉积机（Metal）(二次招标) ,招标人为 厦门天马光电子有限公司 ，招标项目资金已落实，该项目已具备招标条件，现对 磁控溅射物理气相沉积机（Metal）(二次招标) 进行公开招标。

2.项目概况与招标范围

项目概况与招标范围： 磁控溅射物理气相沉积机（Metal） 5台

招标编号： 查看完整信息001-25

包名称： 磁控溅射物理气相沉积机（Metal）(二次招标)

数量： 5台

简要技术要求： 1)本系统是物理气相沉积系统，可以进行基板Al/Mo及Mo合金/Cu材料薄膜沉积，可在短时间（节拍时间）内沉积一定厚度的薄膜。 2)运行环境：招标人FAB，温度23±2℃，湿度55±5%RH，洁净度ISO 5 3)需要预留Cleaner位置(尺寸需要同招标人进行确认)

3.投标人资格要求

3.1 投标人资格要求： （1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2020年1月至今必须有同类型设备的销售记录，用户反映效果良好（投标人需在投标文件中提供业绩资料） 。（2）一旦中标，投标人必须是与招标人签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与招标人签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）

3.2 本次招标： 接受 联合体投标。

3.3 未领购招标文件是否可以参加投标： 不可以 。

4. 招标文件的获取

4.1 获取时间： 2026年05月08日00:00 至 2026年05月14日23:59

4.2 获取方式：中航招标网（）

4.3 招标文件价格： 3500.00 元或 600.00 （美元） ，售后不退。

5. 投标文件的递交及开标

5.1 投标文件递交截止时间（开标时间）： 2026年05月29日09:30

5.2 递交方式： 电子文件递交到电子招标投标交易平台

5.3 开标方式： 通过电子招标投标交易平台开标

5.4 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。逾期送达的投标文件，电子招标投标交易平台将予以拒收。

6. 联系方式

招标人： 厦门天马光电子有限公司

地址： 厦门火炬高新区(翔安)产业区翔安西路6999号

联系人： 陈彩玲（含异议受理）

联系方式： 查看完整信息-1174

电子邮件： cailing_chen@tianma.cn

招标代理机构： 中航招采科技（北京）有限公司

地址： 北京市朝阳区慧忠路5号远大中心B座14层

联系人： 赵溪

联系方式： 查看完整信息

电子邮件： zhaox193@avic.com

日期 2026-05-08

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