福州大学2025年06月至2025年07月政府采购意向-福州大学高密度电感耦合等离子体刻蚀机等设备采购
- 2025-06-12
项目名称: 福州大学2025年06月至2025年07月政府采购意向-福州大学高密度电感耦合等离子体刻蚀机等设备采购
招标公司: 福州大学
采购标的物: 高密度电感耦合等离子体刻蚀机等设备
项目地区：福建 福州
福州大学高密度电感耦合等离子体刻蚀机等设备采购
项目所在采购意向： 福州大学2025年06月至2025年07月政府采购意向
采购单位： 福州大学
采购项目名称： 福州大学高密度电感耦合等离子体刻蚀机等设备采购
预算金额： 360.000000万元(人民币)
采购品目：
采购需求概况：
采购内容:其他仪器仪表 采购数量:1.0000台 主要功能或目标:该设备利用电感耦合等离子体产生高能量的离子和自由基，可实现对多种超宽禁带材料的精确刻蚀，具备高刻蚀速率、高选择性、良好的均匀性和垂直度等优点。采购此设备旨在不同研究方向上对微纳结构加工的严格要求，实现高深宽比的微结构加工，提高探测器性能，同时提升研究效率，降低研究成本，保障技术保密性，推动高性能超宽禁带探测器研究的深入开展。 需满足的要求:质量保证期:验收合格之日起算一年;维修响应时限:报修后2小时内响应;电话支持:7×24小时;
预计采购时间： 2025-07
备注：
无
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
