福州大学2025年05月至2025年06月政府采购意向-福州大学喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目

项目名称: 福州大学2025年05月至2025年06月政府采购意向-福州大学喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目

招标公司: 福州大学

采购标的物: 仪器仪表、喷涂式光刻胶涂覆机等设备

项目地区：福建 福州

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福州大学喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目

项目所在采购意向： 福州大学2025年05月至2025年06月政府采购意向

采购单位： 福州大学

采购项目名称： 福州大学喷涂式光刻胶涂覆机等设备采购项目

预算金额： 148.800000万元(人民币)

采购品目：

采购需求概况：

采购内容:其他仪器仪表 采购数量:1.0000台 主要功能或目标:喷涂式光刻胶涂覆机实现高精度均匀涂胶，突破异形基板图形化瓶颈；激光扫描共聚焦显微镜通过三维检测，精准分析膜厚与缺陷形貌；超硬晶圆激光切割机以高能激光高效切割硬脆材料，降低崩边率；Micro-LED自动光学检测AOI设备结合高分辨率成像与AI算法，快速筛查微米级缺陷，提升检测效率；喷淋式晶圆清洗机无损伤去除微粒及残留，保障芯片洁净度。 需满足的要求:喷涂式光刻胶涂覆机需满足可进行超声波雾化喷涂等要求；激光扫描共聚焦显微镜需满足扫描视野≥22mm等要求；超硬晶圆激光切割机需满足崩边不大于5微米等要求；Micro-LED自动光学检测AOI设备需满足有恒温载台，保证检测结果稳定性等要求；喷淋式晶圆清洗机需满足清洗溶剂：去离子水、酸性溶液、碱性溶液、有机溶剂（丙酮、异丙醇）等要求。

预计采购时间： 2025-06

备注：

无

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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