厦门天马微电子有限公司清洗-光胶涂布-显影装置(二次招标)
- 2026-06-26
项目名称: 清洗-光胶涂布-显影装置(二次招标)
项目编号: 查看完整信息011-22
招标公司: 厦门天马微电子有限公司
采购标的物: 清洗-光胶涂布-显影装置
项目地区：福建 厦门
招标公告
清洗-光胶涂布-显影装置(二次招标) 招标公告
1.招标条件
本招标项目 清洗-光胶涂布-显影装置(二次招标) ,招标人为 厦门天马微电子有限公司 ，招标项目资金已落实，该项目已具备招标条件，现对 清洗-光胶涂布-显影装置(二次招标) 进行公开招标。
2.项目概况与招标范围
项目概况与招标范围： 清洗-光胶涂布-显影装置 1台
招标编号： 查看完整信息011-22
包名称： 清洗-光胶涂布-显影装置(二次招标)
数量： 1台
简要技术要求： 1）本系统是自动流水线处理系统，可以进行基板清洗、光阻材料涂布以及显影，可在短时间（节拍时间）内对阵列黄光制程进行高精度处理。 2）规格：动态检测基板带电量＜±200V (投标文件中需提供离子棒、X-ray、静电压监控sensor位置，EUV、IUV ESD改善方案) 3）投标人必须提供EUV单元的售后服务（投标文件中需提供EUV单元售后服务承诺书）
3.投标人资格要求
3.1 投标人资格要求： 一旦中标，投标人必须是与招标人签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与招标人签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）
3.2 本次招标： 不接受 联合体投标。
3.3 未领购招标文件是否可以参加投标： 不可以 。
4. 招标文件的获取
4.1 获取时间： 2026年06月26日00:00 至 2026年07月03日23:59
4.2 获取方式：中航招标网（）
4.3 招标文件价格： 3500.00 元或 600.00 （美元） ，售后不退。
5. 投标文件的递交及开标
5.1 投标文件递交截止时间（开标时间）： 2026年07月17日09:30
5.2 递交方式： 电子文件递交到电子招标投标交易平台
5.3 开标方式： 通过电子招标投标交易平台开标
5.4 逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。逾期送达的投标文件，电子招标投标交易平台将予以拒收。
6. 联系方式
招标人： 厦门天马微电子有限公司
地址： 中国厦门市翔安区翔安西路6999号
联系人： 郭玲（含异议受理）
联系方式： 查看完整信息
电子邮件： ling_guo@tianma.cn
招标代理机构： 中航招采科技（北京）有限公司
地址： 北京市朝阳区慧忠路5号远大中心B座14层
联系人： 赵溪
联系方式： 查看完整信息
电子邮件： zhaox193@avic.com
日期 2026-06-26
